深圳国际研究生院

李星辉,深圳国际研究生院 副教授

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姓名:李星辉 办公电话:0755-26032544 0755-26032544 邮箱:li.xinghui@sz.tsinghua.edu.cn 地点:深圳市南山区西丽大学城清华园区信息楼1208室 教师主页: https://www.sigs.tsinghua.edu.cn/lxh/main.htm

研究领域                                                                

面向先进制造、高端装备、人工智能等领域,围绕光电信息与智能视觉开展研究,包括基于光栅干涉的精密测量、全息干涉法纳米光栅加工、光栅光谱分析、光谱色散测量等。截止目前,作为项目负责人承担国家自然科学基金一项、广东省自然科学基金一项、中国博士后科学基金特别资助与面上项目各一项,累计获得科研资助500余万元;以第一作者或通讯作者发表SCI论文31篇,其中13篇为JCR一区;以第一发明人获授权发明专利7项,含1项日本专利;发表国际/国内会议论文10余篇,参编书籍1部。

针对高端制造装备精密定位技术的需求,先后研发了六自由度光栅尺和绝对式光栅尺等新型高精度光栅干涉测距系统。针对光栅干涉测距关键元件纳米计量光栅的加工问题,提出了基于紧凑型半导体激光器的光栅拼接加工技术,“三光束-单次曝光”和偏振调制相结合的加工方案等,大幅提升了二维光栅加工质量和效率。对环境监测、物质组分分析等领域所广泛需求的光谱分析仪器的小型化需求,研究了基于凹面光栅的光谱仪技术,提出了基于光路补偿的大曲率凹面光栅加工新原理,提出了双狭缝和反射镜两种新型结构,在满足光谱仪小型化的前提下,拓展了可分析光谱的范围,提高了分辨率。同时,基于微小型光谱仪的研发经验,和当前对于光谱共焦测量需求的不断提升,开展了具有自主知识产权的光谱共焦精密纳米位移传感技术的探索,在光路系统设计、数据处理方法、本征光谱分布获取等方面进行了原创研究,成功搭建了具有4个数量级跨度的原型样机,解决了该领域的一些共性问题。