个人简介

2013/01-至今, 清华大学机械工程系，副研究员

2012/01-2012/12,清华大学精密仪器与机械学系，副研究员

2007/10-2011/12,清华大学精密仪器与机械学系，助理研究员

2005/07-2007/09,清华大学工程力学系，博士后，助理研究员

1999/04-2000/08,中国运载火箭技术研究院230厂，助理工程师

长期专注于高端光刻机超精密工件台的研发，作为结构技术负责人主持了双工件台研发过程中每个关键技术节点的结构方案制定和结构设计工作。研究领域涉及双工件台系统设计、结构创新和关键技术研究。在关键技术方面，研究主要涉及气浮轴承分析与应用、动力学分析与优化、高性能驱动、激光干涉位移测量及核心制造工艺攻关。主要研究方向为面向IC制造装备的精密机械设计、超精密测量、特种电机设计等。负责及参与国家重大专项、973、863、NSFC等6项国家级项目。