个人简介
教育背景
1994.09—1998.07 西安电子科技大学计算机系，计算机应用专业，工学学士
2000.09—2006.01 北京大学微纳电子学系，微电子学与固体电子学专业，硕博连读，理学博士
工作履历
1998.08—2000.07 航天科技集团 西安微电子技术研究所 助理工程师
2006.04—2008.06 清华大学 微电子学研究所博士后
2010.03—2013.11 清华大学 精密仪器与机械学系 助理研究员
2013.12—至今 清华大学精密仪器系 副研究员
研究领域
MEMS加工技术及其相关器件，特别关注硅基MEMS技术的芯片级原子态器件、MEMS继电器、恶劣环境用MEMS传感器与执行器
