个人简介
教育背景
1981.9-1985.7 华中科技大学机械制造及设备自动化专业大学本科
1985.9-1987.9 华中科技大学机械制造及设备自动化专业硕士生
1987.9-1990.6 华中科技大学机械制造及设备自动化专业博士生
工作履历
1990.11-1992.11 清华大学精密仪器与机械学系博士后/讲师
1992.11-1994.11 清华大学精密仪器与机械学系副系主任
1994.12-2011.06 清华大学精密仪器与机械学系教授/博士生导师
2005.07-2016.01 清华大学精密仪器与机械学系系主任
2007.12-2016.01 清华大学机械工程学院院长
2012.12-2016.01 清华大学精密仪器系系主任(学科调整,成立精密仪器系)
2013.12 当选中国工程院院士
2014.11-2015.08 清华大学校长助理
2015.09至今 清华大学党委常委、副校长
研究领域
长期从事微米纳米技术、智能微系统技术及其应用研究,在我国率先开展了微机电系统(MEMS)、微系统技术及其在高端装备中的应用研究,以及微纳航天器的技术创新与工程实践。