个人简介

2010/09-2016/07,清华大学，博士

2006/09-2010/07,中国矿业大学（北京），学士

2018/07-至今, 清华大学机械工程系，助理研究员

2016/07-2018/07,清华大学机械工程系，博士后

    面向IC装备光刻机的国家重大需求，围绕纳米/亚纳米测量精度的生成，重点开展光刻机超精密激光干涉仪位移测量技术、光刻机超精密光栅干涉仪位移测量技术、基于扫描干涉光刻的大尺寸高精度平面全息光栅制造技术的基础理论和关键技术研究。主持中国博士后科学基金项目1项，参与国家02科技重大专项4项、863项目1项、973项目1项。